Fault Detection and Classification System
Kontinuierlich verringernde Gerät- und Prozessgrenzen, sowie die hohen Kosten für Substrate in der Halbleiter- und FPD / LCD-Industrie fordern eine genaue Kontrolle der Geräteauslastung und der Leistungsfähigkeit. Durch Echtzeit-Datenerhebung, Analysemethoden mit einzelnen Variablen bzw. multivariat zur Fehlererkennung und -klassifizierung und einer nahtlosen Integration in das EES-Framework, erleichtert PeakPerformance ™ eFDC die Kontrolle von Geräten genau auf Ihre Bedürfnisse abgestimmt.
Weiters bietet Ihnen die im PeakPerformance™ Framework und eFDC eingebettete Workflow-Engine, eine maßgeschneiderte Business-Logik individuell einzurichten und kundenspezifischen Analysemethoden durchzuführen ohne Ausfallzeiten zu produzieren. Erst eine volle Kontrolle über Ihre Anlagen, schafft die Möglichkeit den Ertrag zu erhöhen und die Produktivität zu verbessern.
eFDC bietet die folgenden Funktionalitäten:
Leistungsfähige Datenerfassung
- Grafische, virtuelle Parameter basierend auf einer Kombination von mehreren Parametern
- Zentralisierter Datenerfassungsplan basierend auf einem Gerätemodell oder einem Einzelgerät
- Sammelt Daten aus verschiedenen Datenquellen
- Zugriff auf dieselben Daten zwischen allen EES Anwendungen
Fehlererkennung und Klassifizierung
- Unterstützung für verschiedene einzelne Variablen und multivariate Analyse-Methoden
- Fehlererkennung in Echtzeit, sowie für Batch-Prozessverfahren
- Möglichkeit einzelne Variablen und multivariate Analyse-Methoden hinzuzufügen
- Automatische Anpassungen des Gerätezustands um „Drift-Effekte“ zu vermeiden
Daten Zusammenfassung / Report / Archivierung
- Zusammenfassungen auf Los, Rezept, Substrat und Schritt Ebene verfügbar
- Min, Max, Standardabweichung, Durchschnitt, Cp und Cpk als Datenübersicht
- Automatisch tägliche, wöchentliche und monatliche Berichterstattung von Rohdaten und benutzerdefinierten Grafiken
- Alle Arten von Datenerfassungen werden für einen einfachen Zugriff in einer Datenbank abgelegt
Daten Visualisierung
- Trend- und Übersichtcharts für Los / Rezept / Modul / Wafer / Parameter-Kombination
- Unterstützung für benutzerdefinierte Chart-Formate
- FAB Übersicht
- Los- und Wafer-Level-Tracking
Weitere Funktionen
- Fehlertolerantes System
- Zugriffsmanagement für das gesamte EES-Framework
- Sicherheits-Features für das aktualisieren von Modellen und Konfiguration
- SMS / Messenger / Mail-Benachrichtigung
PDF-Flyer zur Ansicht/ zum Download hier!
