Die Nachfrage nach immer noch präziseren Gerät-Geometrien und die immer enger werdenden Produktionstoleranz erfordern auch eine entsprechende Prozesssteuerung. Dabei ist es notwenig Rezept-Parameter oder die Auswahl an Kontrollparametern zwischen Läufen zu modifizieren, um die kontinuierliche Prozessierung zu regulieren bzw. das Ergebnis zu verbessern.
PeakPerformance™ eR2R ermöglicht dem Anwender jede kommerziell verfügbare Lösung oder In-House Lösung nachzubilden. Durch die integrierte Workflow-Engine, können Ihre Run-to-Run Modelle leicht geformt und ausgebracht werden.
Verwenden Sie die leistungsstarken Modellierungs-Struktur von BISTel's PeakPerformance™ eR2R, für Parameteranalysen und realistische Demonstrationen von Modellen auch ohne einer Echtzeitanbindung.
Das Ziel
- Stellen Sie die Stabilität des Prozesses sicher
- Minimieren Sie den Einfluss von Störungen auf den Prozess
- Optimieren Sie die Leistungsfähigkeit des Prozesses
