Situation
Der Zugang zu detaillierten Prozess- und Messdaten ist für das stabile Betreiben von IC-Fabriken von immenser Bedeutung. Egal ob es sich um die Verwaltung der ständig wachsenden Komplexität von Betriebsprozessen handelt, das Vermeiden von Prozess-Schwankungen, oder das Reduzieren von Ausfällen, eine entsprechende Datenbasis ist in jedem Fall unabdingbar.
Um diese Menge an Daten und Informationen von den einzelnen Equipments zu beziehen, wurde der SEMI Equipment Data Acquisition (EDA) Standard, auch bekannt als „Interface-A“, konzipiert. Dieser basiert auf den SEMI Standards Common Equipment Model (E120), Equipment Client Authentication and Authorization (E132), Equipment Self Description (E125), und Data Collection Management (E134). Das große Problem vor das man jedoch meistens bei der Realisierung gestellt wird, ist sehr oft die fehlende Interface-A Schnittstelle am Equipment.
