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zsecs Equipment Treiber

 

Um die hohen Anforderungen zur Automatisierung von Anlagen und Systemen bei Halbleiter- und Solarherstellern abzudecken, ist eine durchgängige Integration in den meistens hoch-automatisierten Prozessablauf notwendig.

Mit dem zsecs-Equipment-Treiber bieten znt-Richter eine Geräte-Software, um diese Integration zu unterstützen. Voraussetzung für eine reibungslose und schnelle Integration, sind die vom Treiber abgedeckten SEMI-Standards.

Die Standards sorgen für eine einheitliche Schnittstelle zu dem sogenannten Factory-Host System. Diese werden im Regelfall eingesetzt um Kommandos zur Anlage zu senden (Anlagenrezepte, Horde an-/abdocken, Messung starten, usw.) und Daten von der Anlage zu empfangen (Mess-/Prozessdaten, Alarme, usw.). Als Factory-Host System bietet znt-Richter seinen Process Automation Controller an.


Durch die schlank gehaltene SECS-API Schnittstelle, wird der Integrationsaufwand mit der Anlagen-Software auf ein Minimum reduziert. Die gesamte SECS-Logik wird weitgehend im Treiber abgebildet. Mit nur sehr geringem Aufwand können die SEMI Standards E39, E40, E87, E94 eingesetzt werden und die Anlage wird zu einem voll automatisierbaren SECS-Equipment.

Die aktuelle Treiber-Software setzt voraus, dass die Anlagen-Software die Einbindung einer COM-DLL unterstützt. Abweichende Anforderungen an diese Schnittstelle, werden gerne auf Anfrage angeboten und umgesetzt.

PDF-Flyer zur Ansicht/ zum Download hier!