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Process automation controller
 

pac (Process Automation Controller) ist ein leistungsfähiges, hoch konfigurierbares Tool für die Equipment Integration im Semiconductor Umfeld.

Der pac ist die Implementierungsplattform für Equipment Manager Lösungen. Diese stellen über die halbleiterindustrie-spezifische Schnittstelle „SECS“ das Bindeglied zwischen den Produktions-Equipments und der MES Ebene dar. Zur Anbindung an die SECS-Schnittstelle bietet znt-Richter sein SECS-Treiber-Produkt zsecs an. Dieses kann sowohl als Standalone-Applikation, sowie als integrierte Applikation im Zusammenspiel mit dem pac (siehe Bild), betrieben werden.

Der pac ist dabei nicht nur eine Schnittstellenkomponente sondern er übernimmt auf der Zellenebene umfangreiche Aufgaben:

  • Machine Management
    Im Machine Manager kann die Struktur des Equipments beschrieben werden. Die Strukturdaten können entweder mit Hilfe des GUIs definiert werden oder über XML bzw. ASCII Formate eingelesen werden. Dadurch kann der spezifische Equipment Aufbau allein durch Konfiguration definiert werden. Die Strukturdaten werden von allen anderen Managern als Basis verwendet.

  • Recipe Management
    Der pac kann neben dem Rezept up-/download lokal strukturierte Rezepte verwalten. Der Prozess Ingenieur erhält ein mächtiges Werkzeug für die Prozessoptimierung auf lokaler Ebene.

  • Material Management
    Verwaltet das Prozessmaterial und alle Prozess-Durables.

  • Process Job Management
    Steuert den Produktionsablauf und zeichnet die Prozessdaten auf (Data Collection). Der Process Job Manager kann übergeordnete Steuerungsaufgaben ausführen und mehrerer Tools über einzelne SECS Schnittstellen zu einer Fertigungszelle integrieren.

  • Control Algorithm Management
    Advanced Process Control (APC): Der pac implementiert die in der Halbleiterindustrie benötigten komplexen, equipmentübergreifenden Regelalgorithmen (run-to-run Control (R2R), feed forward, feed backward Regelungen) auf Process Cell Ebene. Mit Hilfe des Control Algorithm Manager kann der Prozess Ingenieur eigene Regelalgorithmen einbringen und testen. Ebenso kann Closed-loop control zur Prozessoptimierung nach SPC Regeln realisiert werden.

  • FLS Management (Factory Level Systems)
    Ist eine generische Integrationskomponente zur Einbindung in die MES und MCS (Material Control System) Umgebung

  • Connection Management
    Steuert die Verbindung zu allen externen Schnittstellen wie Datenbanken, SPC, FTP-Schnittstellen, TIBCO, ...

  • Test Management
    Für die applikationsspezifischen Erweiterungen der Basis Funktionen steht eine umfassende Testumgebung zur Verfügung. Durch optimale Testunterstützung wird sichergestellt, dass im Lauf der Prozessanpassung nötige Änderungen nicht zur Störung der laufenden Produktion führen.


Die pac Standardfunktionalität kann auf Basis von Java Programmierung erweitert werden. Die Java Programme erben von pac-Basisklassen. Die mächtigen objektorientierten Konzepte von Java stehen dem Entwickler für Erweiterungen zur Verfügung. Im pac können dadurch komplexe Steuer- und Regelaufgaben implementiert werden, die nicht auf Ebene der HW-nahen Steuerung bearbeitet werden können.